蛍光X線膜厚計

PD-00000781

蛍光X線膜厚計

製品型番 FT160高性能蛍光X線膜厚計本体

製造事業者 株式会社日立ハイテクアナリシス

製品カテゴリ 蛍光X線膜厚測定器

業種 製造業

用途 検査

置き換えが可能となる機能・性能

<置き換えが可能となる機能・性能とは>

当該機能・性能を有している製品は、置き換えの対象製品となります。

※交付申請の際には上記の機能・性能のうち1点以上を新規に有する製品への置き換えのみが対象となります。

製品概要

試料に蛍光X線を照射し、そこから得られる2次X線の強度から、めっきなどの金属薄膜の厚みを計測する装置。装置本体を装置PCで制御し、予め設定した測定条件を用いて金属薄膜の膜厚測定を自動で行う。当該製品はシリコンドリフト検出器(高スループットな半導体検出器)を採用し、金属薄膜を精度よく、高スループットで測定する事を実現した。また測定部位に合わせてX線の照射範囲を切り替える事ができ、幅広い試料の膜厚測定を可能にする。保守・サービス対応地域:全国

登録日